Металлокерамические фильтры (МКФ) не разборные, предназначены для сверхтонкого фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов, химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента.
Для фильтрации газов, применяемых при изготовлении интегральных схем, кроме фосфина (РН ), окиси углерода (СО) и озона (О ). 3 3
Класс фильтрования U 16.
Рекомендованы к использованию в производстве интегральных схем для абсолютного удаления из газов частиц размером не менее 0,01 мкм.
ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ
| Наименование фильтра | Рекомендуемый расход | Эффективность очистки |
| МКФ-10 | до 3 нм³/ч (50 нл/мин) | Не менее 99,99999 % для частиц размером не менее 0,01 мкм |
| МКФ-40 | от до 3 нм³/ч (50 нл/мин) до 9 нм³/ч (150 нл/мин) |
|
| МКФ-140 | от до 9 нм³/ч (150 нл/мин) до 20 нм³/ч (330 нл/мин) | |
| МКФ-280 | от до 20 нм³/ч (330 нл/мин) до 40 нм³/ч (660 нл/мин) |
- Обработка внутренних поверхностей корпуса:
Электрохимическое полирование. - Подготовка к работе:
Подготовка к работе и испытаниям в чистых помещениях класса 100. - Упаковка:
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом аргоном или азотом.
- Условия эксплуатации:
Температура окружающей среды от +5 до +35 0С.
Пространственная ориентация — произвольная. - Рекомендуемая периодичность замены:
Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм.
Фильтр МКФ-10:
Фильтр МКФ-40:
Фильтр МКФ-140:
Фильтр МКФ-280:
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Параметры | МКФ-10 | МКФ-40 | МКФ-140 | МКФ-280 |
| Параметры фильтруемого газа: - давление на входе фильтра - температура - относительная влажность | не более 1,0 МПа (10 кгс/см²) от +5 до +150 °С не более 80 % |
|||
| Перепад давления на фильтре при расходе газа | 0,25 м³/ч | 1,0 м³/ч | 5,0 м³/ч | 10,0 м³/ч |
| Прочность к воздействию перепада давлений в прямом и обратном направлении | до 0,6 МПа (6 кгс/см²) | |||
| Применяемые материалы: - фильтрующий элемент - корпус | -никель -нержавеющая сталь |
|||
| Локальная негерметичность корпуса | Не более 1*10^-3 л*мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1,00±0,05) МПа [(10±0,5) кгс/см²] и температуре (25±10) °С |
|||
| Площадь фильтрующей поверхности | 10 см² | 40 см² | 140 см² | 280 см² |
РАЗМЕРЫ МКФ-10
| Обозначение | D, мм | S, мм | n |
| еК2.966.754 | М14ˣ1,5 | 17 | - |
| -01 | Резьба 9/16‟ | 18 ниток на 1‟ |
Подсоединительные размеры:
РАЗМЕРЫ МКФ-40
| Обозначение | D, мм | D1, мм | S, мм | D2, мм | n |
| еК2.966.731 | Ø 6 | Ø 9,4 | 17 | М 14ˣ1,5 | - |
| -01 | Ø 6 | Ø 9,4 | 17 | 9/16‟ | 18 ниток на 1‟ |
| -02 | Ø 9 | Ø 14 | 19 | М 18ˣ1,5 | - |
| -03 | Ø 10 | Ø 17,3 | 24 | М 22ˣ1,5 | 14 ниток на 1‟ |
| -04 | Ø 10 | Ø 17,3 | 24 | 7/8‟ | - |
| еК2.966.733 | Ø 6 | Ø 8 | 17 | М 16ˣ1,5 | - |
| -01 | Ø 8 | Ø 11 | 22 | М 20ˣ1,5 | - |
Подсоединительные размеры:
РАЗМЕРЫ МКФ-140
| Обозначение | D, мм | D1, мм | S, мм | D2, мм | n | L, мм | L1, мм |
| еК2.966.732 | Ø 6 | Ø 9,4 | 17 | М 14ˣ1,5 | - | 136 | 220 |
| -01 | Ø 9 | Ø 14 | 19 | М 18ˣ1,5 | - | 136 | 220 |
| -02 | Ø 10 | Ø 17,3 | 24 | М 22ˣ1,5 | - | 136 | 220 |
| -05 | Ø 6 | Ø 9,4 | 17 | 9/16‟ | 18 ниток на 1‟ | 136 | 220 |
| -06 | Ø 10 | Ø 17,3 | 24 | 7/8‟ | 14 ниток на 1‟ | 136 | 220 |
| еК2.966.730 | Ø 21 | Ø 27,8 | 36 | М 33ˣ2 | - | 136 | 220 |
| -01 | Ø 32 | Ø 38,8 | 46 | М 45ˣ3 | - | 136 | 220 |
| еК2.966.734 | Ø 6 | Ø 8 | 17 | М 16ˣ1,5 | - | 136 | 220 |
| -01 | Ø 8 | Ø 11 | 22 | М 20ˣ1,5 | - | 136 | 220 |
Подсоединительные размеры:
РАЗМЕРЫ МКФ-280
| Обозначение | D, мм | D1, мм | S, мм | D2, мм | n | L, мм | L1, мм |
| еК2.966.732 -03 | Ø 9 | Ø 14 | 19 | М 18ˣ1,5 | - | 216 | 300 |
| -04 | Ø 10 | Ø 17,3 | 24 | М 22ˣ1,5 | - | 216 | 300 |
| -07 | Ø 6 | Ø 9,4 | 17 | 9/16‟ | 18 ниток на 1‟ | 216 | 300 |
| -08 | Ø 10 | Ø 17,3 | 24 | 7/8‟ | 14 ниток на 1‟ | 216 | 300 |
| еК2.966.730 -02 | Ø 21 | Ø 27,8 | 36 | М 33ˣ2 | - | 216 | 300 |
| -03 | Ø 32 | Ø 38,8 | 46 | М 45ˣ3 | - | 216 | 300 |
| еК2.966.734 -02 | Ø 6 | Ø 8 | 17 | М 16ˣ1,5 | - | 216 | 300 |
| -03 | Ø 8 | Ø 11 | 22 | М 20ˣ1,5 | - | 216 | 300 |
Подсоединительные размеры:
