skip to Main Content
Фильтры для сверхтонкой очистки газов (МКФ)

Металлокерамические фильтры (МКФ) не разборные, предназначены для сверхтонкого фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов, химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента.

Для фильтрации газов, применяемых при изготовлении интегральных схем, кроме фосфина (РН ), окиси углерода (СО) и озона (О ). 3 3

Класс фильтрования U 16.

Рекомендованы к использованию в производстве интегральных схем для абсолютного удаления из газов частиц размером не менее 0,01 мкм.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ
Наименование фильтраРекомендуемый расходЭффективность очистки
МКФ-10до 3 нм³/ч (50 нл/мин)
Не менее 99,99999 % для частиц размером не менее 0,01 мкм
МКФ-40от до 3 нм³/ч (50 нл/мин) до 9 нм³/ч (150 нл/мин)
МКФ-140от до 9 нм³/ч (150 нл/мин) до 20 нм³/ч (330 нл/мин)
МКФ-280от до 20 нм³/ч (330 нл/мин) до 40 нм³/ч (660 нл/мин)
  • Обработка внутренних поверхностей корпуса:
    Электрохимическое полирование.
  • Подготовка к работе:
    Подготовка к работе и испытаниям в чистых помещениях класса 100.
  • Упаковка:
    Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом аргоном или азотом.
  • Условия эксплуатации:
    Температура окружающей среды от +5 до +35 0С.
    Пространственная ориентация – произвольная.
  • Рекомендуемая периодичность замены:
    Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм.
Фильтр МКФ-10:
Фильтр МКФ-10
Фильтр МКФ-40:
Фильтр МКФ-40
Фильтр МКФ-140:
Фильтр МКФ-140
Фильтр МКФ-280:
Фильтр МКФ-280
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
ПараметрыМКФ-10МКФ-40МКФ-140МКФ-280
Параметры фильтруемого газа:
- давление на входе фильтра
- температура
- относительная влажность
не более 1,0 МПа (10 кгс/см²)
от +5 до +150 °С
не более 80 %
Перепад давления на фильтре при расходе газа0,25 м³/ч1,0 м³/ч5,0 м³/ч10,0 м³/ч
Прочность к воздействию перепада давлений в прямом и обратном направлениидо 0,6 МПа (6 кгс/см²)
Применяемые материалы:
- фильтрующий элемент
- корпус
-никель
-нержавеющая сталь
Локальная негерметичность корпусаНе более 1*10^-3 л*мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (1,00±0,05) МПа [(10±0,5) кгс/см²] и температуре (25±10) °С
Площадь фильтрующей поверхности10 см²40 см²140 см²280 см²
РАЗМЕРЫ МКФ-10
ОбозначениеD, ммS, ммn
еК2.966.754М14ˣ1,517-
-01Резьба 9/16‟18 ниток на 1‟
Подсоединительные размеры:
РАЗМЕРЫ МКФ-40
ОбозначениеD, ммD1, ммS, ммD2, ммn
еК2.966.731Ø 6Ø 9,417М 14ˣ1,5-
-01Ø 6Ø 9,4179/16‟18 ниток на 1‟
-02Ø 9Ø 1419М 18ˣ1,5-
-03Ø 10Ø 17,324М 22ˣ1,514 ниток на 1‟
-04Ø 10Ø 17,3247/8‟-
еК2.966.733Ø 6Ø 817М 16ˣ1,5-
-01Ø 8Ø 1122М 20ˣ1,5-
Подсоединительные размеры:
РАЗМЕРЫ МКФ-140
ОбозначениеD, ммD1, ммS, ммD2, ммnL, ммL1, мм
еК2.966.732Ø 6Ø 9,417М 14ˣ1,5-136220
-01Ø 9Ø 1419М 18ˣ1,5-136220
-02Ø 10Ø 17,324М 22ˣ1,5-136220
-05Ø 6Ø 9,4179/16‟18 ниток на 1‟136220
-06Ø 10Ø 17,3247/8‟14 ниток на 1‟136220
еК2.966.730Ø 21Ø 27,836М 33ˣ2-136220
-01Ø 32Ø 38,846М 45ˣ3-136220
еК2.966.734Ø 6Ø 817М 16ˣ1,5-136220
-01Ø 8Ø 1122М 20ˣ1,5-136220
Подсоединительные размеры:
РАЗМЕРЫ МКФ-280
ОбозначениеD, ммD1, ммS, ммD2, ммnL, ммL1, мм
еК2.966.732 -03Ø 9Ø 1419М 18ˣ1,5-216300
-04Ø 10Ø 17,324М 22ˣ1,5-216300
-07Ø 6Ø 9,4179/16‟18 ниток на 1‟216300
-08Ø 10Ø 17,3247/8‟14 ниток на 1‟216300
еК2.966.730 -02Ø 21Ø 27,836М 33ˣ2-216300
-03Ø 32Ø 38,846М 45ˣ3-216300
еК2.966.734 -02Ø 6Ø 817М 16ˣ1,5-216300
-03Ø 8Ø 1122М 20ˣ1,5-216300
Подсоединительные размеры:
""
1
Ваше Имя
Ваш телефон
Предмет обращенияmore details
0 /
Previous
Next
×
""
1
ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

Галкина Татьяна
Викторовна

Ваше Имяyour full name
Компанияyour full name
Телефонyour full name
Сообщениеmore details
0 /
Previous
Next
×
Back To Top
X